VẬT LIỆU SILICON CARBIDE CANTIVER
Lĩnh vực ứng dụng: Trong lò khuếch tán và lò khuếch tán oxy hóa nhiệt độ cao được sử dụng trong ngành sản xuất chất bán dẫn để thực hiện quá trình tăng trưởng nhiệt và oxy hóa các tấm silicon, mái chèo đúc hẫng là thành phần chính của hệ thống nạp tấm bán dẫn để đảm bảo tính đồng nhất của tấm bán dẫn và ống lò trong nhiều năm hơn khuếch tán và oxy hóa đồng đều. Mái chèo đúc hẫng cacbua silic được đặc trưng bởi độ bền cao, độ tinh khiết cao, độ dẫn nhiệt cao, không có độ xốp, khả năng chống ăn mòn axit và kiềm, không bị nhiễm bẩn ở nhiệt độ cao, ổn định sốc nhiệt tốt và khả năng chịu tải cao. Kết hợp với hệ số giãn nở nhiệt tương tự như hệ số giãn nở nhiệt của lớp phủ LPCVD, việc sử dụng cánh đúc hẫng silicon cacbua trong LPCVD có thể kéo dài đáng kể chu kỳ làm sạch bảo trì và giảm đáng kể ô nhiễm.
Mô tả
Một trong những ưu điểm chính của huyền phù silic cacbua là khả năng mang lại kết quả nhất quán và thống nhất. Bùn có thể mang lại lớp hoàn thiện mịn và chất lượng bề mặt tuyệt vời, đảm bảo rằng các bộ phận gia công không bị trầy xước, nứt hoặc các khuyết tật khác.
Một lợi ích khác của huyền phù silic cacbua là nó thân thiện với môi trường. Bùn không chứa bất kỳ hợp chất nguy hiểm hoặc hóa chất độc hại nào, giúp an toàn khi sử dụng và xử lý.
Hơn nữa, huyền phù silic cacbua có hiệu quả chi phí cao vì nó làm giảm đáng kể sự lãng phí nguyên liệu và thời gian xử lý. Bùn có thể loại bỏ vật liệu với tốc độ nhanh hơn các kỹ thuật mài và đánh bóng truyền thống, do đó làm tăng hiệu quả của quá trình sản xuất.
