Thuyền bốc hơi xuất sắc trong lò chân không

Thuyền bay hơi là một lò chân không để đạt được các thành phần cốt lõi của lớp phủ bay hơi vật liệu, chức năng của nó là mang theo sự bay hơi của vật liệu và làm cho nó bốc hơi bằng cách sưởi ấm, lắng đọng trong môi trường chân không để tạo thành một màng mỏng. Sau đây từ bối cảnh ứng dụng, tính chất vật liệu, điểm kỹ thuật và ứng dụng công nghiệp và các khía cạnh khác của phân tích chi tiết của thuyền bay hơi trong các ứng dụng lò chân không:

Một cảnh ứng dụng cốt lõi

1. L lắng màng mỏng và chuẩn bị lớp phủ lò không thông qua các vật liệu làm bay hơi của thuyền bay hơi (kim loại, hợp kim, hợp chất, v.v.), để nó ở trong môi trường áp suất thấp, hóa hơi và lắng đọng (Sio₂, sinₓ), được sử dụng trong sản xuất chip, bảng mạch, thiết bị MEMS. Phim quang học: Phim tăng cường truyền nhiễm (MGF₂), phim phản chiếu (AG, AL), màng lọc (màng điện môi đa lớp), được sử dụng trong ống kính quang học, máy ảnh điện thoại di động, màn hình. Lớp phủ chức năng: Lớp phủ chống mài mòn (TIN, CRN), màng phân phối nhiệt (hợp kim kim loại), màng chống ăn mòn (PTFE), được sử dụng trong kính ô tô, dụng cụ cắt, linh kiện hàng không vũ trụ.

2. Tinh chế vật liệu và sửa đổi sự phân tách vật liệu tinh khiết cao: Việc sử dụng các chất khác nhau với áp suất hơi khác nhau, thông qua hệ thống sưởi thuyền bay hơi để đạt được sự tinh chế các yếu tố đất hiếm (như ND, DY), kim loại quý (AU, PT). Xử lý doping bề mặt: Sự bay hơi của các chất dopants (như B, N) trên bề mặt của các tấm bán dẫn hoặc điện cực pin, để cải thiện tính chất điện hoặc quang học của vật liệu.

Thứ hai, các điểm kỹ thuật và yêu cầu thiết kế

1. Kiểm soát nhiệt độ và tính đồng nhất của thuyền bay hơi bằng cách sưởi ấm điện trở hoặc sưởi ấm chùm tia điện tử, cần phải đặt nhiệt độ theo áp suất hơi vật liệu (như nhiệt độ bay hơi Al khoảng 1200 độ, AU khoảng 1400 độ).

Thiết kế cơ thể thuyền (chẳng hạn như độ sâu của rãnh, góc nghiêng) để đảm bảo rằng sự bay hơi của vật liệu được làm nóng đồng đều, để tránh quá nóng cục bộ do tăng vọt hoặc bay hơi tạp chất.

2. Vật liệu thuyền bay hơi cần phải ổn định trong chân không cao, chẳng hạn như thuyền than chì cần tránh quá trình oxy hóa nhiệt độ cao (cần phải được lấp đầy bằng khí trơ như AR).

3. Khả năng tương thích hóa học để tránh bay hơi vật liệu và phản ứng thuyền: Ví dụ, bay hơi Zn, vật liệu chứa S, không nên sử dụng thuyền molybden (dễ dàng tạo thành điểm nóng chảy MOS dẫn đến ăn mòn); Sự bay hơi của thuyền nitride boron ưa thích nitride, để ngăn chặn cơ thể thuyền kim loại và phản ứng của nguyên tố N để tạo ra tạp chất.

4. Chu kỳ sống và thay thế Sau khi sử dụng lâu dài, thuyền có thể là do xói mòn vật liệu, dư lượng bay hơi hoặc thất bại biến dạng, bảo trì thường xuyên (như làm sạch siêu âm) hoặc thay thế để đảm bảo sự ổn định của chất lượng lớp phủ. Ứng dụng công nghiệp điển hình

1. Sản xuất chip bán dẫn và vi điện tử: bay hơi của AL, Cu Chuẩn bị các điện cực mạch tích hợp, sử dụng thuyền molybden hoặc thuyền vonfram; Sự lắng đọng của lớp cách nhiệt SiO₂ có thể là thuyền than chì tùy chọn hoặc thuyền nitride boron (để tránh ô nhiễm kim loại). Các thiết bị năng lượng: Việc sử dụng Boron Nitride Boat Devaporing GaN, ALN, việc chuẩn bị lớp epiticular di động điện tử cao (HEMT), để tránh sự giới thiệu tạp chất trong thân thuyền kim loại.

2. Quang học và hiển thị công nghệ chính xác các thành phần quang học: bay hơi thuyền vonfram Ag, AL Chuẩn bị gương, làm bay hơi thuyền than chì MGF₂, SIO₂ Chuẩn bị màng tăng cường truyền tải, để đảm bảo tính đồng nhất của màng và tốc độ khuyết tật thấp.

OLED và Mini-LED: Boron Nitride Boat bay hơi các vật liệu phát sáng hữu cơ (như phức hợp IR) hoặc chấm lượng tử, để tránh các vật liệu cơ thể thuyền và các phân tử hữu cơ phản ứng, để tăng cường tuổi thọ của thiết bị.

3. Tế bào năng lượng mặt trời năng lượng mới: Boat Molybdenum bay hơi điện cực Ag, lắng đọng thuyền than chì Sinₓ Phim giảm; Trong pin chalcogenide, iốt bay lên thuyền boron nitride formamidine (FAPBI₃), để ngăn ngừa ô nhiễm bởi hơi nước và tạp chất.

4. Pin lithium-ion: Thuyền tantalum Detoror LI Chuẩn bị kim loại của các điện cực pin trạng thái rắn, việc sử dụng khả năng chống ăn mòn lithium của nó; Sự bay hơi của các nguyên tố B, N đã pha tạp cực dương silicon đã sửa đổi, để tăng cường hiệu suất đạp xe.

5. Thiết bị cao cấp và lớp phủ công cụ hàng không vũ trụ: Thuyền bay vonfram Ti, chuẩn bị CR, Lớp phủ cứng CRN, cải thiện khả năng chống mài mòn công cụ; Boron Nitride Boat bốc hơi tiền thân kim cương, việc chuẩn bị màng DLC ​​được sử dụng trong vòng bi hàng không.

Điều trị hợp kim nhiệt độ cao: Sự bay hơi của Al, Y và các yếu tố khác bằng thuyền molypden trong lò không để tạo thành lớp phủ chống oxy hóa (như lớp phủ alumina) cho lưỡi dao động cơ.

Công ty TNHH Vật liệu mới của Shengyang cam kết sản xuất các sản phẩm chế biến Boron Nitride và Boron Nitride và có thể tùy chỉnh các bộ phận gốm cách điện Boron Nitride khác nhau theo nhu cầu của khách hàng. Liên hệ với chúng tôi nếu cần thiết.
Điện thoại: +8618560961205
Email: sales@zbsyxc.com